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コレット11の基端部と、ハウジング12の支持部12dとの間には、図示例ではコイルばねで構成される保持ばね15(コレット付勢手段)が設けられる。この保持ばね15は、コレット11を軸線方向先端側に付勢する。これによって、コレット11に外力が加わらない状態では、上記係止段部11dが上記コレット係止部12rに当接した状態(係止位置)に保持される。コレット11は、作動体13の上記支持面部13bに対する基準部11aの摺接構造によって、軸線10xと同軸状の位置及び姿勢が保持された状態で、軸線10xに沿った方向に移動可能に構成される。

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この場合において、前記作動体の前記先端側外面部分は前記ハウジングの前記先端側内面部分に外周側から支持された状態で前記作動体の前記駆動部が前記コレットの前記被動部を内周側へ駆動することが望ましい。また、前記作動体の前記基端側外面部分と前記ハウジングの前記基端側内面部分との間に介在するシール部材により、前記作動体の前記シリンダ摺接部と前記シリンダ構造の内面との間が気密に構成されることが望ましい。

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本発明において、前記コレットの内部には軸孔が設けられ、該軸孔の内部から軸線方向先端側へ向けての流体の供給、若しくは、軸線方向先端側から前記軸孔を介した流体の排出、を可能とする流体給排口が設けられることが好ましい。ここで、前記流体給排口は、前記ハウジングの基端面に開口することが望ましい。

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